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国际标准ISO14644-1将洁净室分为ISO1至ISO9共9个等级,常用等级为ISO5(百级)至ISO8(十万级)。细胞培养/疫苗生产:需ISO5(百级);半导体制造:光刻、封装测试要求ISO5至IS
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国际标准ISO14644-1将洁净室分为ISO1至ISO9共9个等级,常用等级为ISO5(百级)至ISO8(十万级)。细胞培养/疫苗生产:需ISO5(百级);半导体制造:光刻、封装测试要求ISO5至IS